简介:
FB 系列复合coinglass交易所属于无油干泵,是获得清洁高真空的理想设备。
FB 系列复合coinglass交易所有涡轮coinglass交易所和盘式牵引泵组合而成,它同时具有涡轮coinglass交易所分子流时抽速大,压缩比高,牵引泵高压强是抽速大,压缩比高德特点,扩展了coinglass交易所的应用范围。
复合coinglass交易所对被抽气体无选择性,无记忆效应,由于对分子量大的气体有很高的压缩比,因此该泵不需要冷阱和油挡板即可获得清洁的高真空和超高真空。
FB复合coinglass交易所采用进口精密轴承支撑,冷却方式为水冷或风冷,风冷泵工作环境温度必须低于28℃,转子经过整机动平衡,运转平稳可靠,电机为鼠笼式三相电机,轴承润滑采用锥孔轴自吸油润滑,简易可靠,但也决定了coinglass交易所只能垂直安装。
应用:
工业捡漏,PVD, CVD, 离子注入,真空电子元器件制造,Low-E玻璃,ITO玻璃,光学镀膜,太阳能电池,电子束焊接,真空炉等领域。
型号 |
单位 |
FB-600 |
FB-1200 |
FB-1600 |
FB-3600 |
高真空法兰 |
mm |
150CF |
160
ISO-K |
200
CF |
200
ISO-K |
250
CF |
250
ISO-K |
400
ISO-K |
前管法兰 |
mm |
40 KF |
40 KF |
50 KF |
100 ISO-K |
泵速 |
L/s |
600 |
1200 |
1600 |
3600 |
压缩率 |
N2 |
>109 |
>109 |
>109 |
>108 |
H2 |
>8×103 |
>1×104 |
>1×104 |
>5×102 |
极限压力 |
Torr |
<8×10-8 |
<5×10-7 |
<8×10-8 |
<5×10-7 |
<8×10-8 |
<5×10-7 |
<2×10-6 |
电机转速 |
rpm |
24000 |
24000 |
24000 |
13500 |
振动值 |
µm |
≤0.1 |
≤0.1 |
≤0.15 |
≤0.15 |
启动时间 |
min |
<4.5 |
<5 |
<6 |
<11 |
前泵转速 |
L/s |
4-8 |
8-15 |
15 |
30-70 |
冷却方法 |
/ |
Air / water |
Air / water |
Air / water |
water |
环境温度(Air) |
℃ |
≤20 |
≤20 |
≤20 |
/ |
水冷却 |
温度 |
℃ |
≤35 |
≤35 |
≤35 |
≤25 |
消耗 |
L/m |
1-2 |
1-2 |
1-2 |
2 |
烘烤温度 |
℃ |
<120 |
<120 |
<120 |
<120 |
加热器 |
功率 |
Kw |
<250 |
<300 |
<350 |
/ |
电压 |
V |
AC220 |
AC220 |
AC220 |
/ |
安装位置 |
/ |
垂直±5° |
重量 |
Kg |
25 |
29 |
31 |
100 |